微量氧分析仪方法主要有比色法、化学电池法、黄磷发光法、浓差电池法和气相色谱法。其中比色法是较早采用的分析方法，它是国家标准规定的方法，利用铜氨溶液进行比色分析，由于操作复杂，准确度难以保证，并且不能实现自动在线分析，现在已很少采用，不过它还是一种仲裁方法。黄磷发光法是利用氧气与黄磷氧化燃烧进行分析，具有分析速度快，可以连续分析的特点，但该方法采用的黄磷是危险化学品，生成的产物具有腐蚀性，并且检测限低，所以现在已很少采用。在这里主要介绍化学电池法、浓差电池法和气相色谱法。
微量氧分析仪使用前的校验方法：
1.微量氧分析仪正常开启，经30分钟炉温达到650摄氏度，仪器退出程序升温状态转入氧量测量状态。
2.在测量状态下按住确认键，10秒后仪器屏幕进入“显示存储，浓度校正及参数设置”主菜单。
3.接通氮中氧气体标准物质，调整流量。
4.按选择键，光标指向浓度校正，按确认键，屏幕显示密码确认菜单，按选择键，光标分别指向一，二，三，为密码，按上下键进行密码输入，当输入密码分别为01,02,03，且光标指向密码确认后，屏幕显示浓度校正子菜单，选择零点校正。
5.根据屏幕显示浓度，按上下键调整到与气体标准物质的浓度一致后，静止10秒无浓度变化，按选择键使光标指向返回，按三次确认键后，屏幕转入测量状态，完成本次浓度校正。
微量氧分析仪使用的范围非常广泛：钢铁、冶金、热电、石化、化工、焦化、PVC、多晶硅、合成氨、空分制氧、空分制氮、化工流程氧含量自动分析、电子行业保护性气体中氧含量分析(氮气中微量氧分析)， 磁性材料等高温烧结炉的保护性气体中氧含量分析、玻璃、建材行业中氧含量分析及各种行业中氧含量分析均能使用到。
