微量氧分析仪是一种常用的分析仪器，有便携式、电化学、在线式多种类型。采用*密封的燃料池氧传感器是当前上较为先进的测氧方法之一，其核心部分是一个激光检测装置，其中的氦氖激光器可以发射一种安全的低功率单波激光到一个气体测试腔内。由于激光能量微弱，装置内部通过检测腔两端的反射镜不断进行反射，将能量放大1000倍左右。光子与气体分子发生碰撞后发生散射，产生一种不同于激光频谱的光谱，而且不同分子散射出来的光谱是特定不相同的。
在进行微量氧分析时，由于空气中氧含量高，如果处理不当易造成对样品的污染和干扰，出现分析结果数据不正常，一些因素可能会影响微量氧分析仪的测量使用，比如：
1、干扰杂质影响
干扰杂质主要指除背景气和待测组分外存在的少量未知杂质，如燃料电池式微氧仪对酸性、氧化性气体敏感，如果气体中含有酸性气体成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，则燃料池传感器易中毒失效。而微量的还原性气体对氧化锆式微氧仪的分析结果产生影响，近又发现微量的N2O对氧化锆式微量氧分析仪产生影响，所以在检测时要充分考虑到杂质的存在，选择恰当的分析仪，才能得到准确的结果。
2、背景气干扰
如燃料电池式分析仪，不同的主背景气（与背景气的摩尔质量有关），会影响分析结果。并且少量的氢气也会对分析结果产生较大的影响。
对于样气中含有微量酸性气体的情况，只有特殊型式的赫兹电池式氧分析仪才能排除于扰，防止传感器中毒，给出正确分析数据。其他燃料电池式氧分析仪均不能用于酸性气体分析。
在管道系统净化过程中，为缩短净化时间，需要有一定的方法，一般使用高压放气及小流量吹除交替进行可迅速净化氧气，此处要及时更换过滤器以免损坏设备使用寿命。
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